Alat Sputtering Tipe Load-Lock “SPH-2500-Ⅱ” Produk dan jasa

Platform Bisnis Manufaktur lebar Asia di Indonesia

TECH DIRECTORY Indonesia

Alat Sputtering Tipe Load-Lock “SPH-2500-Ⅱ”

Alat Sputtering Tipe Load-Lock “SPH-2500-Ⅱ” Alat Sputtering Tipe Load-Lock “SPH-2500-Ⅱ”

Keseragaman ketebalan film: di dalam tray mencapai ±1,2% dan antar tray mencapai ±1,5%.

Showa Shinku Co. Ltd. telah melakukan perubahan model secara menyeluruh untuk alat SPH-2500 yang merupakan best seller dan mempunyai prestasi membanggakan selama sekitar 15 tahun.
「SPH-2500-II」 yang merupakan alat sputtering bertipe load-lock tetap melanjutkan fitur alat sebelumnya sekaligus menggunakan teknologi terbaru, dan telah mencapai performa yang melebihi alat-alat sebelumnya dalam segala sisi.

Permintaan/pertanyaan

Model

Alat Sputtering Tipe Load-Lock “SPH-2500-Ⅱ”

Harga

Silahkan hubungi kami untuk lebih detil.

Waktu pengiriman

Silahkan hubungi kami untuk lebih detil.

Ketersediaan stok dalam negeri Indonesia

Silahkan hubungi kami untuk lebih detil.

URL

http://www.showashinku.co.jp/product_e/SPH-2500-2_e.htm

Target pasar

Mesin industri & peralatan  Elektronik / suku cadang listrik  Otomotif dan transportasi

Informasi perusahaan

SHOWA SHINKU CO., LTD. SHOWA SHINKU CO., LTD.

Fitur produk dan jasa

[Fitur]
- Eksternal: W1200 x D2500 x H1440 mm, dengan footprint yang sama dan tinggi yang lebih rendah
- Efisiensi penggunaan target meningkat secara pesat sampai 44% dengan peningkatan katoda.
- Menggunakan sistem rack & pinion, sehingga memecahkan masalah pengangkutan akibat roller slip dan sebagainya.

[Komposisi Alat]
- Ukuran alat: W2500 x D1200 x H1440 mm
- Komposisi: stocker + loading chamber + sputtering chamber sistem proses inter-back
- Tipe sputtering: DC magnetron
- Katoda: 5 inchi x 7 inchi, 2 set (1 dari 2 set katoda tersebut merupakan katoda berefisiensi penggunaan tinggi)
- Catu daya DC: 800 V, 3,75A (maksimal 1,5 kW)
- Ukuran tray: L350 mm x H210 mm
- Sistem pengangkutan substrat: pengangkutan rack & pinion
- Stocker: menampung 10 tray
- Sistem pembuangan: 2 set pompa molekular turbo, 2 set pompa putar minyak

[Performa]
- Keseragaman ketebalan film: di dalam tray ±1,2% dan antar tray ±1,5%.
- Efisiensi penggunaan target: 44% (maksimum)
- Waktu lekat: 3 menit/putaran ※ kecuali tray pertama
- Tekanan ultimat: LD chamber: maksimal 1,0 x 10^-3Pa
        SP chamber: maksimal 1,0 x 10^-3Pa
- Waktu pembuangan: LD chamber: dalam 3 menit sampai 2,0 x 10^-2Pa
          SP chamber: dalam 10 menit sampai 1,2 x 10^-2Pa
- Suhu pemanasan substrat: minimum 150℃

Contoh aplikasi/penggunaan

- Untuk membentuk film elektroda dan film pelindung pada komponen elektronik kecil.

Permintaan/pertanyaan

Bahasa yang tersedia

Bahasa Jepang Bahasa Inggris Bahasa Tionghoa

*Tanda 'diperlukan'

*Silakan pilih

Kategori

Pick-up

PAGE TOP